等离子清洗机（Plasma）
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4/人使用者
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32/次机时次数
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43.5/小时总时长
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0/次送样次数
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1/人收藏者
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收费标准
机时10元/小时 -
设备型号
ZEPTOW6 -
当前状态
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管理员
邓仁胜 Darren Rensheng DENG 88338624 -
放置地点
W3-123
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
等离子清洗机（Plasma）
资产编号
MDMF-MA-0016
型号
ZEPTOW6
规格
产地
德国
厂家
Diener
所属品牌
Diener
出产日期
购买日期
所属单位
材料、设计和制造中央实验室 Materials, Design and Manufacturing Facility (GZ)
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
88338624
联系邮箱
darrenrsd@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-123
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
频率 40kHz，功率0~100W，自动电阻阻抗匹配，具有电流过载保护功能。
流量计量程 0-20sccm；
可实时显示工艺舱的压力值，压力范围 0.01-9.99mbar
反应腔：高硼硅玻璃材料，腔体尺寸D160xD180mm，
流量计量程 0-20sccm；
可实时显示工艺舱的压力值，压力范围 0.01-9.99mbar
反应腔：高硼硅玻璃材料，腔体尺寸D160xD180mm，
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