高温烘箱
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收费标准
机时免费 -
设备型号
YH-J100 ES-02 -
当前状态
-
管理员
徐礼威 William Liwei XU 13535525083 -
放置地点
W3-L4-436
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
高温烘箱
资产编号
0210006123
型号
YH-J100 ES-02
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
2024-10-30
所属单位
微系统异构集成与封装中心 Center for Heterogeneous Integration of Microsystems and Packaging
使用性质
科研
所属分类
其他通用设备
资产负责人
欧阳翩 Penny Pian OUYANG
联系电话
13535525083
联系邮箱
chipgz@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-L4-436
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1. 适用区域
洁净烘箱适合于洁净车间内使用，适用于高精密半导体中烘干，胶水固化，精密光学元件清洗后烘干等热处理。
2. 设备特点：
1) SUS304 1.5mm不锈钢板，全满焊工艺；
2) 箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式，可以使箱内保证微正压，以保证污染物不能进入内箱；
3) 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室，可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可以满足洁净级别ISO Class 5（国标100级），ISO Class 6（国标1000级），ISO Class 7（国标10000级）等各种等级的需求；
4) 配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；
5) 全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温。可以保存配方，查看温度曲线，导出升温数据等；
设备参数：
1、工作稳定范围：常温—150℃
2、控温精度：±0.1℃
3、温度均匀性：±3%℃
4、温度稳定度：±2℃
5、工作尺寸：H910mm*W620mm*D620mm
洁净烘箱适合于洁净车间内使用，适用于高精密半导体中烘干，胶水固化，精密光学元件清洗后烘干等热处理。
2. 设备特点：
1) SUS304 1.5mm不锈钢板，全满焊工艺；
2) 箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式，可以使箱内保证微正压，以保证污染物不能进入内箱；
3) 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室，可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可以满足洁净级别ISO Class 5（国标100级），ISO Class 6（国标1000级），ISO Class 7（国标10000级）等各种等级的需求；
4) 配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；
5) 全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温。可以保存配方，查看温度曲线，导出升温数据等；
设备参数：
1、工作稳定范围：常温—150℃
2、控温精度：±0.1℃
3、温度均匀性：±3%℃
4、温度稳定度：±2℃
5、工作尺寸：H910mm*W620mm*D620mm
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