等离子清洗仪(理化实验室)

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收费标准

机时
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设备型号

Tergeo-Plus

当前状态

其它

管理员

姚乾坤 Qiankun YAO

放置地点

W3-
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名称

等离子清洗仪(理化实验室)

资产编号

0210000031

型号

Tergeo-Plus

规格

产地

厂家

PIE Scientific

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

--

联系电话

联系邮箱

放置地点

W3-
  • 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
PIE Scientific Tergeo 应用领域:
引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接

石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm
样品架:2mm厚高纯度石英板
射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极
射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配,射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt
工艺气路:高达三个MFC气路
用户界面:7寸电阻式触摸屏


请通过WFMRF官网(https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/)进行预约,谢谢!
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