等离子清洗仪(理化实验室)
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Tergeo-Plus -
当前状态
其它 -
管理员
姚乾坤 Qiankun YAO -
放置地点
W3-
- 仪器信息
- 预约资源
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- 公告
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名称
等离子清洗仪(理化实验室)
资产编号
0210000031
型号
Tergeo-Plus
规格
产地
厂家
PIE Scientific
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
--
联系电话
联系邮箱
放置地点
W3-
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
PIE Scientific Tergeo 应用领域:
引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm
样品架:2mm厚高纯度石英板
射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极
射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配,射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt
工艺气路:高达三个MFC气路
用户界面:7寸电阻式触摸屏
请通过WFMRF官网(https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/)进行预约,谢谢!
引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封
光刻胶灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/载玻片/芯片实验
去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物
改善金属与金属或复合材料的结合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘接
石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm
样品架:2mm厚高纯度石英板
射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极
射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配,射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt
工艺气路:高达三个MFC气路
用户界面:7寸电阻式触摸屏
请通过WFMRF官网(https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/)进行预约,谢谢!
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