扫描电子显微镜
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
EVO 10 -
当前状态
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管理员
徐礼威 William Liwei XU 13535525083 -
放置地点
W3-L4-436
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
扫描电子显微镜
资产编号
0210009073
型号
EVO 10
规格
产地
厂家
蔡司
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
微系统异构集成与封装中心 Center for Heterogeneous Integration of Microsystems and Packaging
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
欧阳翩 Penny Pian OUYANG
联系电话
13535525083
联系邮箱
chipgz@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-L4-436
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1、最大样品高度：100mm
2、最大样品直径：230mm
3、电动载物台XYZ行程：80 x 100 x 35 mm
4、样品室规格：310 mm (直径) x 220 mm (高度)
5、分辨率：
1）2nm，3nm @30kVSE配有LaB，W
2）6nm，8nm @3kVSE配有LaB，W
3）9nm，20nm @1kVSE配有LaB，W
6、加速电压：0.2至30kV
7、放大倍数：7–1,000,000×
设备介绍：
https://img1.17img.cn/17img/files/202404/attachment/ae16830d-0951-4154-8232-10df8a3d61e0.pdf
2、最大样品直径：230mm
3、电动载物台XYZ行程：80 x 100 x 35 mm
4、样品室规格：310 mm (直径) x 220 mm (高度)
5、分辨率：
1）2nm，3nm @30kVSE配有LaB，W
2）6nm，8nm @3kVSE配有LaB，W
3）9nm，20nm @1kVSE配有LaB，W
6、加速电压：0.2至30kV
7、放大倍数：7–1,000,000×
设备介绍：
https://img1.17img.cn/17img/files/202404/attachment/ae16830d-0951-4154-8232-10df8a3d61e0.pdf
主要功能及特色
配置：
1、能谱分析仪 (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS)
2、背散射电子显微镜 (Backscattered Electron Microscopy, BSE)
1、能谱分析仪 (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS)
2、背散射电子显微镜 (Backscattered Electron Microscopy, BSE)
预约资源
附件下载
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