有机-金属薄膜沉积系统（蒸镀）
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收费标准
机时登录后查看 -
设备型号
F380-S8 -
当前状态
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管理员
何锦德 Jinde HE 020-88332915 -
放置地点
W3-621A
- 仪器信息
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名称
有机-金属薄膜沉积系统（蒸镀）
资产编号
BESTLab00019
型号
F380-S8
规格
产地
厂家
方昇光电
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
超级能源科技主题实验室 Brilliant Energy Science and Technology Lab
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
020-88332915
联系邮箱
BESTLAB@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-621A
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1. 可安装 120mm×120mm 的基片托盘，基片托盘通循环水冷却；
2. 基片托盘可旋转，旋转速度需覆盖 0-30 转/分，可调；
3. 样片与掩膜板的配合间隙小于 0.2mm，蒸镀图案边缘宽度误差小于0.1mm；
4. 共 8 组蒸发源， 8 组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；每组蒸发源配独立的防污板；
5. 配 2 套蒸发电源，功率 1.4KW 以上,可控精度 0.1A，用于蒸发金属和有机材料。
2. 基片托盘可旋转，旋转速度需覆盖 0-30 转/分，可调；
3. 样片与掩膜板的配合间隙小于 0.2mm，蒸镀图案边缘宽度误差小于0.1mm；
4. 共 8 组蒸发源， 8 组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；每组蒸发源配独立的防污板；
5. 配 2 套蒸发电源，功率 1.4KW 以上,可控精度 0.1A，用于蒸发金属和有机材料。
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