无掩膜光刻机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
BabyPlus -
当前状态
其它 -
管理员
姚乾坤 Qiankun YAO -
放置地点
W3-
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
无掩膜光刻机
资产编号
987654321
型号
BabyPlus
规格
产地
厂家
DMO
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
联系邮箱
qiankunyao@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
设备详情页：
https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/share/ucenter/equip/equipInfo?id=128
样品尺寸：155×155×7mm
直写面积：149mm x 149mm
曝光光源：405 nm LED 1.5W
直写分辨率：1μm and 5 μm
直写速度：50mm2/min @ 1μm 180mm2/min @ 5μm
对准显微镜镜头：x3 and x10 自动切换
多层套刻精度：±1μm
小栅格精度：200nm
样品台小步长：100nm
光学轮廓Z分辨率：200nm
样品表面自动对焦
灰度直写(255级)
设备详情页：
https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/share/ucenter/equip/equipInfo?id=128
样品尺寸：155×155×7mm
直写面积：149mm x 149mm
曝光光源：405 nm LED 1.5W
直写分辨率：1μm and 5 μm
直写速度：50mm2/min @ 1μm 180mm2/min @ 5μm
对准显微镜镜头：x3 and x10 自动切换
多层套刻精度：±1μm
小栅格精度：200nm
样品台小步长：100nm
光学轮廓Z分辨率：200nm
样品表面自动对焦
灰度直写(255级)
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