台阶仪
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
DektakXT -
当前状态
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管理员
冯亮 Liang FENG -
放置地点
W3-
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
台阶仪
资产编号
0209000130
型号
DektakXT
规格
DektakXT
产地
厂家
Bruker
所属品牌
Bruker
出产日期
购买日期
所属单位
波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
使用性质
科研
所属分类
MCPF-表面分析 Surface Analysis
资产负责人
--
联系电话
联系邮箱
liangfeng@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.台阶高度测试重复性＜5.0 Å@1μm高度标准台阶；
2.单次扫描数据采集点数；小于120000点
3.垂直方向扫描范围：1mm；
4.垂直方向分辨率：最高分辨率可达1 Å (在6.55μm测量范围内)；
5.最大晶片尺寸：200mm(8英寸)；
5.样品X/Y载物台：100mm*100mm，可手动校平；
6.样品R-Θ载物台：360°连续旋转，可手动校平。
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
2.单次扫描数据采集点数；小于120000点
3.垂直方向扫描范围：1mm；
4.垂直方向分辨率：最高分辨率可达1 Å (在6.55μm测量范围内)；
5.最大晶片尺寸：200mm(8英寸)；
5.样品X/Y载物台：100mm*100mm，可手动校平；
6.样品R-Θ载物台：360°连续旋转，可手动校平。
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
主要功能及特色
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大突破是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业领先的技术和设计，可提供高性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。
预约资源
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