桌面型离子束溅射仪

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收费标准

机时
0元/小时

设备型号

Q150R ES

当前状态

其它

管理员

姚乾坤 Qiankun YAO

放置地点

W3-
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名称

桌面型离子束溅射仪

资产编号

2024042604

型号

Q150R ES

规格

产地

厂家

Quorum Technologies

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

--

联系电话

联系邮箱

qiankunyao@hkust-gz.edu.cn

放置地点

W3-
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
主要规格&技术指标
设备详情页:
https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/share/ucenter/equip/equipInfo?id=47

限真空度:2 x 10-2 mbar
* 溅射工作真空:镀金时可设真空度范围在2 x 10-2mbar和1 x 10-1mbar之间。


请通过WFMRF官网(https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/)进行预约,谢谢!
主要功能及特色
请通过WFMRF官网进行查询和预约。https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/share/home/index
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Q150R ES能适用于各种样品,并能方便地装卸样品。在安装溅射和蒸发之间的切换很简单。该系统是完全自动化的,由用户定义的配方控制泵送顺序,放气,蒸发脉冲和溅射电流和时间。
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