3D轮廓测量仪 / 3D轮廓仪
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
VR-6000 -
当前状态
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管理员
冯亮 Liang FENG -
放置地点
W3-
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
3D轮廓测量仪 / 3D轮廓仪
资产编号
0209002457
型号
VR-6000
规格
产地
厂家
基恩士
所属品牌
基恩士
出产日期
购买日期
2024-05-02
所属单位
波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
使用性质
科研
所属分类
MCPF-表面分析 Surface Analysis
资产负责人
--
联系电话
联系邮箱
liangfeng@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
(1).高度显示分辨率：≤0.1 μm
(2).高度测量重复精度：σ≤0.5 μm
(3).宽度测量重复精度：σ≤0.5 μm
(4).工作距离：≥70mm
(5).图像传感器：像素点≥400万
(6).照明光源：LED三色光源
(7).测量光源：白色LED光源
(8).载物台XY行程：≥250mm × 130 mm
(9).载物台Z行程：＞60mm
(10).图像处理功能：可获得清晰图像、边缘抽取、偏移调整、灰度系数修正
(11).深度合成功能：可利用远心镜头，对整个面合成焦点，无位置偏移
(12).16位HDR功能：以R-G-B各像素16位灰度级获取
(13).含旋转拼接功能：测量前无需校正，只需旋转样品，即可合成测量数据
(14).含3D测量功能：可进行轮廓测量、几何公差、平均高度差、体积、表面积、起伏、线粗糙度、表面粗糙度等定量测量
(15).含多文件分析功能：可一次打开多个数据，进行上述各种测量
(16).拼接模块：可进行≥ 300 mm × 150 mm的范围，全自动（XY自动控制+自动对焦）测量
(17).含形状比较测量功能：可利用测量工具，测量2个数据同一位置的差异大小
(18).差分彩色显示功能: 可重叠2个形状，从视觉上掌握差异。(例如，比基准高的地方显示为红色，低的地方显示为蓝色)
(19).3D-CAD比较测量功能：对于上述20、21中记载的内容，可进行3D-CAD数据与测量数据之间的比较
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
(2).高度测量重复精度：σ≤0.5 μm
(3).宽度测量重复精度：σ≤0.5 μm
(4).工作距离：≥70mm
(5).图像传感器：像素点≥400万
(6).照明光源：LED三色光源
(7).测量光源：白色LED光源
(8).载物台XY行程：≥250mm × 130 mm
(9).载物台Z行程：＞60mm
(10).图像处理功能：可获得清晰图像、边缘抽取、偏移调整、灰度系数修正
(11).深度合成功能：可利用远心镜头，对整个面合成焦点，无位置偏移
(12).16位HDR功能：以R-G-B各像素16位灰度级获取
(13).含旋转拼接功能：测量前无需校正，只需旋转样品，即可合成测量数据
(14).含3D测量功能：可进行轮廓测量、几何公差、平均高度差、体积、表面积、起伏、线粗糙度、表面粗糙度等定量测量
(15).含多文件分析功能：可一次打开多个数据，进行上述各种测量
(16).拼接模块：可进行≥ 300 mm × 150 mm的范围，全自动（XY自动控制+自动对焦）测量
(17).含形状比较测量功能：可利用测量工具，测量2个数据同一位置的差异大小
(18).差分彩色显示功能: 可重叠2个形状，从视觉上掌握差异。(例如，比基准高的地方显示为红色，低的地方显示为蓝色)
(19).3D-CAD比较测量功能：对于上述20、21中记载的内容，可进行3D-CAD数据与测量数据之间的比较
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
主要功能及特色
3D 轮廓测量仪“VR-6000 系列”以非接触方式直接实现粗糙度仪、形状轮廓测量仪的测量。3D 轮廓测量仪以 0.1 µm 分辨率捕捉触针式无法充分测量的面整体形状。还新搭载了电动旋转单元。在旋转样品的同时进行测量，能够消除死角，再现真实的截面形状。可简单测量壁厚及凹陷尺寸。另外，采用 HDR 扫描算法提升了扫描能力，即使是光学轮廓测量仪不擅长的有光泽的目标物或材料反光弱的目标物，也能瞬间判断理想条件，正确测量形状。与传统机型*相比，能够将动态范围最大扩大到 1000 倍进行扫描。多功能轮廓测量仪可消除死角，测量光泽面；消除非接触的“无法测量”操作简单的轮廓测量仪；侧面和背面，都可用电动旋转单元测量。
预约资源
附件下载
公告
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