形状测量激光显微镜
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
基恩士 VK-X3000 -
当前状态
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管理员
冯亮 Liang FENG -
放置地点
W3-
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
形状测量激光显微镜
资产编号
321B07
型号
基恩士 VK-X3000
规格
产地
日本
厂家
基恩士
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
波功能超材料中央实验室 Wave Functional Metamaterial Research Facility
使用性质
科研
所属分类
MCPF-表面分析 Surface Analysis
资产负责人
--
联系电话
联系邮箱
liangfeng@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
主要指标参数：
(1).测量光路为正置分体式结构。
(2).探测器模块：16BIT光电倍增器以及面阵探测器彩色CMOS。
(3).载物台XY轴支持电动运行方式，Z轴支持电动及手动运行方式。
(4).载物台X/Y/Z轴最大行程：100mm@X轴；100mm@Y轴；50mm@Z轴。
(5).支持三种测量模式：激光共聚焦、聚焦变化以及白光干涉。
(6).所配物镜的数值孔径NA及工作距离WD：
5X物镜：NA≥0.13，WD22.5mm；
10X物镜：NA≥0.30，WD16.5mm；
20X物镜：NA≥0.46，WD3.1mm；
50X物镜：NA≥0.8，WD0.54mm；
150X APO物镜：NA≥0.95，WD0.2mm。
20X干涉物镜：WD4.7mm。
(7).光源类型：661nm半导体红色激光(II类激光)以及白色LED光源。
(8).激光共聚焦模式下，高度重复性精度σ：10X物镜：100 nm；20X物镜：40 nm；50X物镜：20nm。
(9).激光共聚焦模式下，宽度重复性精度3σ：10X物镜：400 nm；20X物镜：100 nm；50X物镜：50 nm。
(10).聚焦变化模式下，高度重复性精度σ：5X物镜：500 nm；10X物镜：100 nm；20X物镜：50 nm；50X物镜：30 nm·。
(11).聚焦变化模式下，宽度重复性精度3σ：5X物镜：400 nm；10X物镜：400 nm；20X物镜：120 nm；50X物镜：65 nm。
(12).3D显示：(1).动态三维显示；(2).支持XYZ三轴旋转、前后、左右、上下移动；(3).Z轴可实现放缩比例显示。
(13).支持多种报告输出格式：(1).模板报告模式(JPEG/TIF/BMP);(2).CSV格式文件输出；(3).Excel多文件报告格式输出。
(14).多文件分析功能：可在并列显示多个扫描结果文件后，针对多个图像进行一致性分析测量。
(15).可实现的测量功能包括：基本形貌观测、轮廓测量、台阶高度测量、线粗糙度测量、面粗糙度测量、几何测量、面积测量、体积测量、图像列表比对、粗糙度对比功能、比较测量功能、球形平面角测量、模板批量分析功能；并可自定义 3D 形貌的降噪、平滑、调平等形貌修正。
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
(1).测量光路为正置分体式结构。
(2).探测器模块：16BIT光电倍增器以及面阵探测器彩色CMOS。
(3).载物台XY轴支持电动运行方式，Z轴支持电动及手动运行方式。
(4).载物台X/Y/Z轴最大行程：100mm@X轴；100mm@Y轴；50mm@Z轴。
(5).支持三种测量模式：激光共聚焦、聚焦变化以及白光干涉。
(6).所配物镜的数值孔径NA及工作距离WD：
5X物镜：NA≥0.13，WD22.5mm；
10X物镜：NA≥0.30，WD16.5mm；
20X物镜：NA≥0.46，WD3.1mm；
50X物镜：NA≥0.8，WD0.54mm；
150X APO物镜：NA≥0.95，WD0.2mm。
20X干涉物镜：WD4.7mm。
(7).光源类型：661nm半导体红色激光(II类激光)以及白色LED光源。
(8).激光共聚焦模式下，高度重复性精度σ：10X物镜：100 nm；20X物镜：40 nm；50X物镜：20nm。
(9).激光共聚焦模式下，宽度重复性精度3σ：10X物镜：400 nm；20X物镜：100 nm；50X物镜：50 nm。
(10).聚焦变化模式下，高度重复性精度σ：5X物镜：500 nm；10X物镜：100 nm；20X物镜：50 nm；50X物镜：30 nm·。
(11).聚焦变化模式下，宽度重复性精度3σ：5X物镜：400 nm；10X物镜：400 nm；20X物镜：120 nm；50X物镜：65 nm。
(12).3D显示：(1).动态三维显示；(2).支持XYZ三轴旋转、前后、左右、上下移动；(3).Z轴可实现放缩比例显示。
(13).支持多种报告输出格式：(1).模板报告模式(JPEG/TIF/BMP);(2).CSV格式文件输出；(3).Excel多文件报告格式输出。
(14).多文件分析功能：可在并列显示多个扫描结果文件后，针对多个图像进行一致性分析测量。
(15).可实现的测量功能包括：基本形貌观测、轮廓测量、台阶高度测量、线粗糙度测量、面粗糙度测量、几何测量、面积测量、体积测量、图像列表比对、粗糙度对比功能、比较测量功能、球形平面角测量、模板批量分析功能；并可自定义 3D 形貌的降噪、平滑、调平等形貌修正。
请通过WFMRF官网（https://wfmrfshare.hkust-gz.edu.cn/）进行预约，谢谢！
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