真空镀膜溅射仪
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3/人使用者
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3/次机时次数
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4.37/小时总时长
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0/次送样次数
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4/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
PD-400s -
当前状态
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管理员
徐礼威 William Liwei XU 13535525083 -
放置地点
W3-L4-436
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
真空镀膜溅射仪
资产编号
0210009262
型号
PD-400s
规格
产地
中国
厂家
普迪真空
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
微系统异构集成与封装中心 Center for Heterogeneous Integration of Microsystems and Packaging
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
欧阳翩 Penny Pian OUYANG
联系电话
13535525083
联系邮箱
chipgz@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-L4-436
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
膜厚均匀性偏差：±4%
真空极限：≤2.0×10-5Pa
真空极限：≤2.0×10-5Pa
主要功能及特色
用于样品表面材料薄膜制备
设备使用相关说明
收费标准：校内20元/小时，校外200元/小时
不包含靶材费，靶材自备或按时价另计
不包含靶材费，靶材自备或按时价另计
预约资源
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