薄膜和器件热处理设备
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收费标准
机时登录后查看 -
设备型号
QHV-R96 -
当前状态
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管理员
何锦德 Jinde HE 020-88332915 -
放置地点
W3-621A
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
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名称
薄膜和器件热处理设备
资产编号
BESTLab00020
型号
QHV-R96
规格
产地
厂家
所属品牌
奇汇真空
出产日期
购买日期
所属单位
超级能源科技主题实验室 Brilliant Energy Science and Technology Lab
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
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联系电话
020-88332915
联系邮箱
BESTLAB@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-621A
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1. 极限真空可达 4×10-5Pa
2. 样品尺寸： 100×100mm；
3. 蒸发间距： 280mm~240mm；
4. 样品台升降距离:±20mm；
5. 样品台加热：室温~400℃；
6. 真空室盖形式：矩型前后开门方式(内门在气氛仓内)；
7. 膜厚仪：双通道膜厚仪；
8. 蒸发速率：稳定 0.1Å/S~1Å/S 连续可控；
2. 样品尺寸： 100×100mm；
3. 蒸发间距： 280mm~240mm；
4. 样品台升降距离:±20mm；
5. 样品台加热：室温~400℃；
6. 真空室盖形式：矩型前后开门方式(内门在气氛仓内)；
7. 膜厚仪：双通道膜厚仪；
8. 蒸发速率：稳定 0.1Å/S~1Å/S 连续可控；
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