磁控溅射镀膜仪 Magnetron sputtering coating instrument
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收费标准
机时450元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
Explorer 20 -
当前状态
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管理员
徐谷 Gu XU,侯思润 Dennis Sirun HOU 020-88338509 -
放置地点
W2-128
- 仪器信息
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
磁控溅射镀膜仪 Magnetron sputtering coating instrument
资产编号
MC-MP-0011
型号
Explorer 20
规格
Explorer 20
产地
美国
厂家
Denton
所属品牌
Denton
出产日期
购买日期
所属单位
材料表征与制备中央实验室 Materials Characterization and Preparation Facility (GZ)
使用性质
科研
所属分类
MCPF-材料制备 Material Preparation
资产负责人
侯思润 Dennis Sirun HOU
联系电话
020-88338509
联系邮箱
sirunhou@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W2-128
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 备注
主要规格&技术指标
1.配备两级真空泵，极限真空度优于8x10-8 Torr2.配置一个6 x 15cc电子束源，功率8干瓦，最大高压10干伏3.可固定8英寸圆片及兼容4/6英寸样品4.膜厚控制仪速率分辨率＜±0.035A，蒸镀率显示0.1 A/S，膜厚分辨率＜1A5.薄膜沉积均匀性片内优于±3%，片间优于±3% (8英寸基片范围)
主要功能及特色
1.配备X/Y扫描控制器，手动或自动选择电子束扫描模式2.采用Windows计算机全自动操作系统，图形化显示及记录所有系统运行数据
备注
设备仅接受送样，仅限于磁控溅射金属镀膜，送样请注明镀膜金属材料名称及镀膜厚度。
检测项目
附件下载
公告
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