高分辨率扫描电子显微镜 High Resolution Scanning Electron Microscope (SEM) SU5000
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36/人使用者
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336/次机时次数
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780/小时总时长
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1/次送样次数
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67/人收藏者
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收费标准
机时登陆后显示送样详见检测项目 -
设备型号
SU5000 -
当前状态
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管理员
陈海滨 Haibin CHEN,凡晓顺 Xiaoshun FAN,何颜玲 Yanling HE 020-88338502 -
放置地点
W2-123
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
高分辨率扫描电子显微镜 High Resolution Scanning Electron Microscope (SEM) SU5000
资产编号
MC-NA-0005
型号
SU5000
规格
产地
厂家
日立
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
材料表征与制备中央实验室 Materials Characterization and Preparation Facility (GZ)
使用性质
科研
所属分类
MCPF-纳米分析 Nano Analysis
资产负责人
陈海滨 Haibin CHEN
联系电话
020-88338502
联系邮箱
chenhb@hkust-gz.edu.cn,yanlinghe@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W2-123
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1. 热场发射电子枪；
2. 分辨率：1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV；
3. 放大倍率： 10 ~ 600,000x；
4. 加速电压： 0.5 ~ 30 kV；
5. 低真空模式：10~300Pa;
6. 样品台：最大样品直径200mm; 最大高度80mm; 100×50mm 5轴马达驱动 (X: 0~100mm; Y: 0~50mm; Z: 3~65mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；
7. 元素分析仪：Oxford AZtecLive UltimMax 65.
1. Electron Gun：Schottky Field Emission；
2. Resolution：1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV；
3. Magnification： 10 ~ 600,000x；
4. Accelerating voltage： 0.5 ~ 30 kV；
5. Variable pressure mode：10~300Pa;
6. Specimen Stage：Maximum sample size: 200mm dia. x 80mmH; 100×50mm 5 Axis motorized stage (X: 0~100mm; Y: 0~50mm; Z: 3~65mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；
7. EDX dector：Oxford AZtecLive UltimMax 65.
2. 分辨率：1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV；
3. 放大倍率： 10 ~ 600,000x；
4. 加速电压： 0.5 ~ 30 kV；
5. 低真空模式：10~300Pa;
6. 样品台：最大样品直径200mm; 最大高度80mm; 100×50mm 5轴马达驱动 (X: 0~100mm; Y: 0~50mm; Z: 3~65mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；
7. 元素分析仪：Oxford AZtecLive UltimMax 65.
1. Electron Gun：Schottky Field Emission；
2. Resolution：1.2nm@30kV, 3.0nm@1kV；
3. Magnification： 10 ~ 600,000x；
4. Accelerating voltage： 0.5 ~ 30 kV；
5. Variable pressure mode：10~300Pa;
6. Specimen Stage：Maximum sample size: 200mm dia. x 80mmH; 100×50mm 5 Axis motorized stage (X: 0~100mm; Y: 0~50mm; Z: 3~65mm; R: 360o; T: -20 ~90o )；
7. EDX dector：Oxford AZtecLive UltimMax 65.
主要功能及特色
1. 适合大样品，最大样品尺寸可达 200mm（直径）x 80 mm （高度）；
2. 大束流（>200nA), 适合微区分析（EBSD， EDX）；
3. 具有优异的低真空(10-300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器 (UVD)；
4. 配备高灵敏度背散射探头（BSE）和高性能背散射衍射仪（EBSD）;
5. 配备力学拉伸台进行原位测试;
1. Large chamber, Maximum sample size: 200mm dia. x 80mmH；
2. High probe current（>200nA) for efficient microanlaysis (EBSD， EDX）；
3. Unparalled low vacuum (10 ~ 300 Pa) imaging with the novel Ultra Variable pressure detector (UVD);
4. Equipped with ultra efficient photodiode BSE detector and high performance EBSD;
5. Equipped with in-situ microtest tensile stage.
2. 大束流（>200nA), 适合微区分析（EBSD， EDX）；
3. 具有优异的低真空(10-300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器 (UVD)；
4. 配备高灵敏度背散射探头（BSE）和高性能背散射衍射仪（EBSD）;
5. 配备力学拉伸台进行原位测试;
1. Large chamber, Maximum sample size: 200mm dia. x 80mmH；
2. High probe current（>200nA) for efficient microanlaysis (EBSD， EDX）；
3. Unparalled low vacuum (10 ~ 300 Pa) imaging with the novel Ultra Variable pressure detector (UVD);
4. Equipped with ultra efficient photodiode BSE detector and high performance EBSD;
5. Equipped with in-situ microtest tensile stage.
预约资源
检测项目
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