金属有机物化学气相沉积
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收费标准
机时20元/小时 -
设备型号
PS-100A -
当前状态
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管理员
李晓文 Liam Xiaowen LI -
放置地点
W3-421H-I
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
金属有机物化学气相沉积
资产编号
0209002523
型号
PS-100A
规格
/
产地
中国
厂家
镓耀
所属品牌
GAYAO
出产日期
购买日期
所属单位
绿色e材料实验室 Green e Materials Laboratory
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
TAN CHEE KEONG Chee Keong TAN
联系电话
联系邮箱
Liamxiaowenl@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-421H-I
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.1 设备进气部分至少包含两路mist源系统，材质316L不锈钢；
1.2 设备进气部分至少包含一路MO源系统，MO源系统带有载气和稀释用MFC控制，MO源需要放在恒温水槽中，恒温水槽的控温范围0-40℃；
1.3 进气系统采用质量流量计（MFC），精确度±1.0%设定值，响应速度＜1s； 数量不低于8颗；
1.4 Mist源需要带有自动补液功能，确保mist源稳定；
1.5 不锈钢管路确保密封性漏率≤5.0*10-9 mbar*l/s；
1.6 进气部分气动阀为进口气动隔膜阀；
1.7 进气载气至少包含一路氮气，一路氧气；
1.8 MO源配备出口压力计；
2.1 反应室单元包含3个温区，每个温区温度单独可控且温区长度不低于300mm，整个长度不低于1.2m；
2.2 反应室可放置4寸衬底，用于材料生长；
2.3 用于放置衬底的托盘具备旋转功能；
2.4 每个管式炉可以加温到1000℃；
2.5 进气管路需要具有分布式匀气装置，确保气流均匀分布；
2.6 承载衬底的载盘具备自动进出反应室功能；
2.7 载盘可以在1，2，3温区间自由移动，调整生长位置；
2.8 衬底或者托盘温度可以在设备运行中被实时监控；
3.1 尾气系统配备的真空泵，真空泵抽速不低于20m3/h，极限真空度大于50Pa；
3.2 尾气系统需要配备冷阱用于冷却和过滤尾气；
3.3 尾气系统包含过滤器，过滤精度25um，用于过滤尾气颗粒，滤芯及滤筒需要耐酸；
3.4 尾气系统包含蝶阀，蝶阀跟反应室压力计联动可以控制反应室压力；
3.5 反应室真空压力计，范围0-1000mbar；
4.1 设备采用PLC控制；
1.2 设备进气部分至少包含一路MO源系统，MO源系统带有载气和稀释用MFC控制，MO源需要放在恒温水槽中，恒温水槽的控温范围0-40℃；
1.3 进气系统采用质量流量计（MFC），精确度±1.0%设定值，响应速度＜1s； 数量不低于8颗；
1.4 Mist源需要带有自动补液功能，确保mist源稳定；
1.5 不锈钢管路确保密封性漏率≤5.0*10-9 mbar*l/s；
1.6 进气部分气动阀为进口气动隔膜阀；
1.7 进气载气至少包含一路氮气，一路氧气；
1.8 MO源配备出口压力计；
2.1 反应室单元包含3个温区，每个温区温度单独可控且温区长度不低于300mm，整个长度不低于1.2m；
2.2 反应室可放置4寸衬底，用于材料生长；
2.3 用于放置衬底的托盘具备旋转功能；
2.4 每个管式炉可以加温到1000℃；
2.5 进气管路需要具有分布式匀气装置，确保气流均匀分布；
2.6 承载衬底的载盘具备自动进出反应室功能；
2.7 载盘可以在1，2，3温区间自由移动，调整生长位置；
2.8 衬底或者托盘温度可以在设备运行中被实时监控；
3.1 尾气系统配备的真空泵，真空泵抽速不低于20m3/h，极限真空度大于50Pa；
3.2 尾气系统需要配备冷阱用于冷却和过滤尾气；
3.3 尾气系统包含过滤器，过滤精度25um，用于过滤尾气颗粒，滤芯及滤筒需要耐酸；
3.4 尾气系统包含蝶阀，蝶阀跟反应室压力计联动可以控制反应室压力；
3.5 反应室真空压力计，范围0-1000mbar；
4.1 设备采用PLC控制；
主要功能及特色
PST-100A系统是集成了Mist-CVD和MOCVD两种工艺目前市场上唯一的定制化的机型，最高沉积温度1000℃，可以用来沉积氧化镓薄膜，满足高校、研究院所和企业的高质量薄膜的生长需求。
a. 供气系统采用模块化设计：该系统具有高可靠性以及可拓展性；交付的设备供气系统包括：Mist源和MO源系统、纯氧系统、其他气体系统。具体使用的源需要客户自备，不在设备交付范围内。
b. 整台设备的控制系统采用PLC控制系统设计，该系统遵从工业4.0的理念，可通过简洁明了的人机交互界面来编辑工艺配方。
a. 供气系统采用模块化设计：该系统具有高可靠性以及可拓展性；交付的设备供气系统包括：Mist源和MO源系统、纯氧系统、其他气体系统。具体使用的源需要客户自备，不在设备交付范围内。
b. 整台设备的控制系统采用PLC控制系统设计，该系统遵从工业4.0的理念，可通过简洁明了的人机交互界面来编辑工艺配方。
设备使用相关说明
1.使用前须参加设备培训并通过考核
2. 上机前需穿戴防护用具
3. 上机前需检查冷却水工作状态，气体工作状态及余量
2. 上机前需穿戴防护用具
3. 上机前需检查冷却水工作状态，气体工作状态及余量
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