超高分辨率扫描电子显微镜 Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM) Regulus8100

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设备型号

Regulus8100

当前状态

管理员

陈海滨 Haibin CHEN,凡晓顺 Xiaoshun FAN,何颜玲 Yanling HE 020-88338502

放置地点

W2-123
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名称

超高分辨率扫描电子显微镜 Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM) Regulus8100

资产编号

MC-NA-0004

型号

Regulus8100

规格

产地

厂家

日立

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

材料表征与制备中央实验室 Materials Characterization and Preparation Facility (GZ)

使用性质

科研

所属分类

MCPF-纳米分析 Nano Analysis

资产负责人

陈海滨 Haibin CHEN

联系电话

020-88338502

联系邮箱

chenhb@hkust-gz.edu.cn,yanlinghe@hkust-gz.edu.cn

放置地点

W2-123
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1. 冷场发射电子枪;
2. 分辨率:0.7nm@15kV ,0.8nm@1kV;
3. 放大倍率: 20 ~ 1,000,000x;
4. 加速电压: 0.5 ~ 30 kV;
5. 着落电压:0.1 ~ 2 kV;
6. 样品台:4 英寸样品预抽室;
7. 元素分析仪:Oxford Ultim Max 100;
8. 配备真空转移系统;
1. Electron gun: Cold cathode field emission electron source;
2. Resolution:0.7nm@15kV ,0.8nm@1kV;
3. Magnification: 20 ~ 1,000,000x;
4. Accelerating voltage: 0.5 ~ 30 kV;
5. Landing voltage:0.1 ~ 2 kV;
6. Specimen Stage:4""specimen exchange device;
7. EDX dector:Oxford AZtecLive UltimMax 100;
8. Equipped with vaccum transfer system;
主要功能及特色
1. Hitachi Regulus 系列在极低加速电压至高加速电压的宽泛条件下,均可实现高分辨观察和分析。可用于材料的高分辨形貌,显微组织,晶体结构,化学成分等分析。适用于各种材料和结构,包括金属,陶瓷,高分子,纳米线,电子器件等。
2. 配备真空转移系统,可以在不接触空气的环境中更换样品。
1. The Regulus series ascends upon core technologies that enhance high resolution imaging and various types of anlayses complemented by a wide range of conditions at ultra-low to high accelerating voltages. It can supports the characterization of high-resolution morphology, structure, crystal information, compostion, etc. for a varity of materials and components.
2. Equippd with vaccum transfer system, specimens can be transfffer to the SEM without reacctions with oxygen, water, etc.
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