台阶仪
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10/人使用者
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39/次机时次数
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42/小时总时长
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38/次送样次数
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26/人收藏者
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收费标准
机时登录后显示送样详见检测项目 -
设备型号
Alpha-Step D-600 -
当前状态
-
管理员
侯思润 Dennis Sirun HOU 020-88338509 13570351473 -
放置地点
W1-124
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
台阶仪
资产编号
MC-SA-0005
型号
Alpha-Step D-600
规格
Alpha-Step D-600
产地
厂家
KLA-Tencor
所属品牌
KLA-Tencor
出产日期
购买日期
所属单位
材料表征与制备中央实验室 Materials Characterization and Preparation Facility (GZ)
使用性质
科研
所属分类
MCPF-表面分析 Surface Analysis
资产负责人
侯思润 Dennis Sirun HOU
联系电话
020-88338509,13570351473
联系邮箱
sirunhou@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W1-124
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1.最高分辨率0.38 Å
2.测试重复性5.0 Å或0.1%
3.扫描时最小正压力0.03 mg
4.测量采样点40万个
5.测量范围1200um
6.样品台XY马达驱动150×150mm
7.样品台尺寸≥120mm
1.Highest resolution: 0.38 Å
2.Testing repeatability: 5.0 Å or 0.1%
3.Minimum positive pressure during scanning: 0.03 mg
4.Total Number of measured sampling points: 400,000
5.Measuring range: 1200um
6.Sample stage XY motor drive: 150×150mm
7.Sample stage size: ≥120mm
2.测试重复性5.0 Å或0.1%
3.扫描时最小正压力0.03 mg
4.测量采样点40万个
5.测量范围1200um
6.样品台XY马达驱动150×150mm
7.样品台尺寸≥120mm
1.Highest resolution: 0.38 Å
2.Testing repeatability: 5.0 Å or 0.1%
3.Minimum positive pressure during scanning: 0.03 mg
4.Total Number of measured sampling points: 400,000
5.Measuring range: 1200um
6.Sample stage XY motor drive: 150×150mm
7.Sample stage size: ≥120mm
主要功能及特色
1.具有双向扫描测量的功能
2.系统配有150×150mm 口径的超大超厚超光滑平晶
1.Equipped with bidirectional scanning measurement function.
2.The system is equipped with an ultra-large, ultra-thick, and super smooth flat crystal of 150×150mm caliber.
2.系统配有150×150mm 口径的超大超厚超光滑平晶
1.Equipped with bidirectional scanning measurement function.
2.The system is equipped with an ultra-large, ultra-thick, and super smooth flat crystal of 150×150mm caliber.
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检测项目
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