等离子清洗机
-
0/人使用者
-
0/次机时次数
-
0/小时总时长
-
0/次送样次数
-
1/人收藏者
-
收费标准
机时40元/次 -
设备型号
Tergeo -
当前状态
-
管理员
李晓文 Liam Xiaowen LI -
放置地点
W3-421K
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
等离子清洗机
资产编号
0210006561
型号
Tergeo
规格
产地
美国
厂家
PIESCIENTIFIC LLC
所属品牌
PIESCIENTIFIC LLC
出产日期
购买日期
2024-01-19
所属单位
绿色e材料实验室 Green e Materials Laboratory
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
吴佳莹 Jiaying WU
联系电话
联系邮箱
Liamxiaowenl@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-421K
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
腔体：内径 110mm，深度 280mm，壁厚 5mm；配有石英托盘
射频功率：0~75 瓦，可以以每 1 瓦间距连续可调，自动阻抗匹配
射频功率：0~75 瓦，可以以每 1 瓦间距连续可调，自动阻抗匹配
主要功能及特色
程序控制：可编程，总共有 20 个配方。单个程序操作模式一次执行一个配方；多程序Job 模式可以最多一次执行 3 个配方；
配方过程控制参数：射频电源功率，射频脉冲占空比，气体的流量，清洗时间，等离子结束后的吹扫过程。
配方过程控制参数：射频电源功率，射频脉冲占空比，气体的流量，清洗时间，等离子结束后的吹扫过程。
样本检测注意事项
1、按要求制备样品，不可污染仪器；
设备使用相关说明
1、使用前须与管理员充分说明样品成分；
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
