3D光学轮廓仪 3D Optical Profilometer
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5/人使用者
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11/次机时次数
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11/小时总时长
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3/次送样次数
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7/人收藏者
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收费标准
机时100元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
NPFLEX-1000 -
当前状态
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管理员
邓仁胜 Darren Rensheng DENG 88338624 -
放置地点
W3-123
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
3D光学轮廓仪 3D Optical Profilometer
资产编号
MDMF-MA-0015
型号
NPFLEX-1000
规格
产地
马来西亚
厂家
Bruker
所属品牌
Bruker
出产日期
购买日期
所属单位
材料、设计和制造中央实验室 Materials, Design and Manufacturing Facility (GZ)
使用性质
科研
所属分类
MDMF-表面分析 Surface Analysis
资产负责人
--
联系电话
88338624
联系邮箱
darrenrsd@hkust-gz.edu.cn
放置地点
W3-123
- 主要规格&技术指标
主要规格&技术指标
1、采用白光干涉测试原理，包含三种工作模式：垂直扫描干涉测量模式（VSI）；相移干涉测量模式（PSI）；结合 VSI 和 PSI 的自适应通用测量模式（USI）
2、内置两个独立的长寿命 LED 光源，根据不同工作模式的可以单独或同时激发3.1.3 垂直分辨率：≤0.01nm Ra； RMS 重现性：≤0.01nm
3、可高效单次同时测试反光性差或反射率差异大的多组分样品；过饱和光强≥30%的视场范围下，可准确获取样品的表面形貌数据
4、10mm 垂直方向单次测量量程，全量程闭环控制可以一次拼接而非压电陶瓷与多次拼接方式， 50 倍干涉物镜工作距离不小于 3mm
5、一次可通过拼接，样品测量区域≥20mm×20mm
6、垂直扫描速度： 122µm /秒，用户可自行设定； 可放置样品最大高度 249mm
7、台阶测试精度：≤0.75%（8µm 以上的台阶高度测试准确性）
8、具备深孔和深槽测量能力，可测量 10:1 高深比的孔和 30:1 高深比的槽。
9、具备 Photo spacer 共面性高通量测试能力。
10、采用双柱龙门架设计，大理石台面，以便能放置各类超长或超重样品，能放置最大样品重量 45kg（77kg 不带载物台）
11、扫描头自动倾斜调制范围：≥±5°
12、配备自动样品台： XY 移动范围≥300mm×300mm；带自动缝合拼接功能；永久授权的软件标配 PSI\VSI 模块、自动多点测量以及缝合软件模块，并可进行环形拼接。
13、高清 CCD 相机成像系统:1200x1000 数据阵列;一键自动寻找表面功能;10 秒内得到干涉条纹；粗糙度测试 RMS 重复性：≤0.03nm（PSI 模式下）
2、内置两个独立的长寿命 LED 光源，根据不同工作模式的可以单独或同时激发3.1.3 垂直分辨率：≤0.01nm Ra； RMS 重现性：≤0.01nm
3、可高效单次同时测试反光性差或反射率差异大的多组分样品；过饱和光强≥30%的视场范围下，可准确获取样品的表面形貌数据
4、10mm 垂直方向单次测量量程，全量程闭环控制可以一次拼接而非压电陶瓷与多次拼接方式， 50 倍干涉物镜工作距离不小于 3mm
5、一次可通过拼接，样品测量区域≥20mm×20mm
6、垂直扫描速度： 122µm /秒，用户可自行设定； 可放置样品最大高度 249mm
7、台阶测试精度：≤0.75%（8µm 以上的台阶高度测试准确性）
8、具备深孔和深槽测量能力，可测量 10:1 高深比的孔和 30:1 高深比的槽。
9、具备 Photo spacer 共面性高通量测试能力。
10、采用双柱龙门架设计，大理石台面，以便能放置各类超长或超重样品，能放置最大样品重量 45kg（77kg 不带载物台）
11、扫描头自动倾斜调制范围：≥±5°
12、配备自动样品台： XY 移动范围≥300mm×300mm；带自动缝合拼接功能；永久授权的软件标配 PSI\VSI 模块、自动多点测量以及缝合软件模块，并可进行环形拼接。
13、高清 CCD 相机成像系统:1200x1000 数据阵列;一键自动寻找表面功能;10 秒内得到干涉条纹；粗糙度测试 RMS 重复性：≤0.03nm（PSI 模式下）
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